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纳克微束离子溅射仪ISC-1000采用高性能旋片泵快速产生一个<1-2Pa的真空压强，通常真空时间小于3-5分钟。采用高品质恒功率磁控溅射电源，以确保恒定镀膜沉积速率。磁控阴极的使用也大幅减少等离子体...

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