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PRODUCT DETAILS

FE-1050产品应用手册
FE-1050产品应用手册

产品特点

01

低电压高分辨 


配备新一代电子光学镜筒，具备优越电子光学性能,重点优化了低电压下高分辨力,实现1.5nm(1kV),可以轻松观测易受电子辐照损伤的样品。

FE-1050

02

兼容性强可拓展  


① 宽大的主真空腔室，最大化考虑通用扩展性

② 可保证兼容任意第三方厂商探测器及附件系统。

③ 多达27个附件端口的数量，是目前可扩展性最强的扫描电镜之一。


FE-1050

03

操作智能易使用  


具备自动化进取样功能，配有多角度相机，能够全方位监控腔室内的情况；拥有贴近用户设计的系统交互软件，最大程度简化用户操作，即使没有电镜使用经验的用户也可对其轻松上手；

FE-1050A


成像图

关键技术

产品参数

型号
FE-1050
系列

一、电子光学系统

电子枪Schottky 场发射
物镜类型非浸没电磁复合透镜
加速电压0.02-30kV
束斑电流10pA 至 30nA（100nA 选配）
放大倍数10x - 1,000,000x
分辨率 SE1.5nm(1kV)、0.9nm(15kV)
 BSE(选配)2.5nm(1kV)、1.5nm(15kV)
 STEM0.8nm（30kV）


二、真空系统

离子泵（IGP）25 L/s+2X20L/s
涡轮分子泵（TMP）250 L/s (N₂）
前级真空泵15m³/h 机械泵、无油涡旋机械泵（选配）
电子枪真空

< 1.0 x 10 - 7 Pa

主样品室极限真空

< 1.0 x 10 - 4 Pa

样品室接口数27 个
预抽室50mm 样品托盘自动送样 4/6 英寸晶圆自动送样（选配）
预抽室光学导航


三、样品运动平台

样品台行程X140mm
Y140mm
Z60mm
R连续 360°
T-10°~80°
重复定位精度X/Y/Z ≤ 1um（选配）
样品最大承重5kg


四、图像处理系统

最小驻留时间20ns
采集方式4 通道同步采集
最大图像分辨率24k x 24k 像素


五、数据处理系统

CPUIntel Xeon E5 及以上处理器
内存32G
显卡显存≥24G，位宽≥384bit
显示器34 英寸超宽屏显示器
控制台人体工程学可升降操控台



六、探测器系统

检测器

能谱仪

波谱仪

电子背散射衍射仪

阴极荧光探测器

附件（选配）

聚焦离子束

原位拉伸加热台/制冷台

冷冻转移样品仓等第三方附件设备


产品应用

PRODUCT APPLICATION

材料科学
材料科学
电子半导体
电子半导体
材料科学
电子半导体
FE-1050产品应用手册
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