SE-800电子扫描显微镜(SEM),不仅保留了钨灯丝扫描电镜的基本优势,如经济性、对非导电样品的适应性等,并在此基础上提供了更加先进的功能和性能。以下是结合SE-800的关键特性和工作原理的总结:
一、关键特性
1.高分辨能力:SE-800能够达到2.5纳米(@30千伏)的分辨率,这一性能指标在钨灯丝SEM中属于较高水平,确保了对样品细节的捕捉。
2.成熟稳定的光学设计:该设备采用精心设计的光学系统,保证了成像质量和稳定性,即使在长时间使用下也能维持高性能。
3.多样化的观测模式:用户可以轻松切换多种观测模式,适应不同类型的样品和分析需求,拓宽了其应用范围。
4.兼容低真空技术:无需对所有样品进行导电镀膜,低真空模式允许直接观测非导电样品,提高了实验效率并减少了样品准备步骤。
5.生产标准与品质:遵循与场发射机型相同的高标准生产流程,确保了设备的可靠性和长期稳定性。但相比场发射扫描电镜(FE-SEM),SE-800因使用钨灯丝作为电子源,其成本相对较低,适合预算有限但需要高质量成像和分析的研究机构和企业。
6.独特技术应用:包括中间镜技术和无极光阑技术,这些特色技术使得电子束的调整更为高效和精 准,增强了设备的灵活性和实用性。
二、工作原理
1.电子发射:利用加热的钨灯丝产生电子流,作为成像的“光源”。
2.电子束控制:电子流经过聚焦形成细小的电子束,并通过扫描系统在样品表面进行有序扫描。
3.信号检测:当电子束与样品相互作用时,会产生包括二次电子和背散射电子在内的多种信号,这些信号携带了样品表面的信息。
4.图像生成:通过探测器收集这些信号,信号被转换成电信号,进一步放大并转化为可视图像,显示在屏幕上,反映出样品的表面形貌和结构特征。
SE-800电子扫描显微镜凭借其综合性能和技术创新,不仅满足了基本的材料科学研究需求,还为用户提供了一种高效、准确且易于操作的微观分析工具。