聚焦离子束电镜，又称FIB-SEM。它是一种多功能的纳米级加工和成像工具，在材料科学、半导体制造、生命科学等多个领域有着广泛的应用。聚焦离子束电镜的主要作用可以归纳为以下几点：

1.纳米工艺：

聚焦离子束（FIB）技术走进纳米尺度的材料加工新纪元，包括精细切割、高效刻蚀和沉积等工艺。在半导体行业中，它用于制造微电子器件中的微细结构，如优化集成电路线路和纳米传感器。

2.样品制备：

FIB系统为透射电子显微镜（TEM）样品的制备提供了一种革新的方法。通过控制和操作，它能够制备出高质量的TEM样品，用于深入研究材料的内部构造和化学成分。

3.高清成像技术：

结合扫描电子显微镜（SEM），FIB系统展现了其高分辨率成像的出色能力，为科研人员提供了关于材料微观结构、晶体形态和成分分布的详尽信息。

4.定点切割与分析：：

FIB技术的定点切割功能实现了对材料加工的控制，其切割位置和深度可精 确至原子级别，如特定区域材料性质的分析和故障点的定位。

5.三维结构解析：

通过连续进行切割和成像，FIB技术能够生成一系列样品截面的图像，这些图像可进一步用于三维重构，从而揭示复杂结构内部的几何形状。

6.生物医学领域：

在生物医学领域，FIB技术为生物样本的制备和分析带来了革命性的变化。它可以制备出细胞、组织和微生物的超薄切片，使研究人员能够更深入地观察其内部结构。

当前，聚焦离子束电镜凭借其广泛适用性和多重作用，已经在多个科学和技术领域展现出了巨大的潜力和价值，为研究者们提供了在微观尺度上深入观察和分析材料、结构、性能等方面的强大工具。‍