中间镜技术

物镜系统中的中间镜在不同发射能量和束流强度下均可对电子束运动轨 迹进行实时调整，从而保证不同发射条件下均可获得高质量电子束。

无极光阑技术

无需切换光阑即可连续调整束流，调整时无需进行对中操作，极大程度上 方便成像模式切换。

低真空技术

电子光学系统可以承受最高500Pa的仓室真空度，几乎所有不导电类样 品都可以直接观测，无需做导电性处理。