镜筒内减速技术

搭载镜筒内减速技术，在极低着陆电压下（<1KV时）仍可以有效控制相差，提供超高分辨成像水平。

"三物镜"技术

物镜系统由两组磁透镜和一组电透镜组成，三组物镜均可独立控制并任意组合以聚焦电子束；三种物镜的灵活组合可以应对更加多样的观测场景，用户在不改变工作距离的前提下即可实现一键全自动切换超大视野、超大景深、超高分辨等多种成像模式。

全电压段多路成像

标配Inlens-SE、BSE、ET-SE三种电子探测器，这些探测器在全电压段（0-30kV）均可同时成像，最大程度为高分辨形貌观察、成分分析提供便利。