高温合金是一类可在600℃及以上的高温及一定应力作用的恶劣环境下长期工作的材料，其在诸如国防、能源、海事、航空以及其他需要稳定可靠材料的关键领域内起着无法取代的作用。高温合金优异的高温性能最重要的因素之一是与镍基体共格的Ni3Al型析出相（Gamma Prime Precipitates，γ´相），其含量、数量、尺寸大小、尺寸分布等因素直接对材料的性能造成影响。高分辨力SEM在纳米级的γ´相的表征重大的作用，对高温合金中γ´相的高清成像和统计分析可以帮助材料专家对材料进行材料性能的改进研究、工艺生产的问题发现。